公元1600年，伽里略研制出气体温度计。直到1821年由德国物理学家塞贝克发现了把温度变成电信号的塞贝克效应制作出了热电偶传感器来测量温度，此次发现为工业革命留下了不可磨灭的贡献。早期由于技术的限制，传感器不能同时实现测量温度和湿度两个功能，所以为了测温度和湿度两个重要参数，不得不同时来使用温度传感器和湿度传感器。

一百年后，研制成酒精温度计和水银温度计。

随着现代工业技术发展的需要，相继研制出金属丝电阻、温差电动式元件、双金属式温度传感器。

1950年以后，相继研制成半导体热敏电阻器。最近，随着原材料、加工技术的飞速发展、又陆续研制出各种类型的温度传感器。

此后，随着科技的发展，人们研制出各种温湿度传感器。本世纪，在半导体技术的支持下，相继诞生了半导体热电偶传感器、 PN结温度传感器和集成温度传感器。与之相应，根据波与物质的相互作用规律，相继开发了声学温度传感器、红外传感器和微波传感器。温度传感器有四种主要类型：热电偶、热敏电阻、电阻温度检测器（RTD）和IC温度传感器。

热电偶传感器有自己的优点和缺陷。热电偶温度传感器的灵敏度与材料的粗细无关，用非常细的材料也能够做成温度传感器。也由于制作热电偶的金属材料具有很好的延展性，这种细微的测温元件有极髙的响应速度，可以测量快速变化的过程。然而热电偶传感器的灵敏 度比较低，容易受到环境干扰信号的影响，也容易受到前置放大器温度漂移的影响，因此不适合测量微小的温度变化。